產水量1噸/小時的半導體超純水設備
【南京純水設備】產水量1噸/小時的半導體超純水設備
一、參數與標準
1、水質指標
1）電阻率：≥18.2 MΩ·cm（25℃）。
2）離子含量：硼≤0.005μg/L，硅≤0.01μg/L，金屬離子≤10ppt。
3）顆粒物：<50nm微?！?/span>100個/L，TOC≤5 ppb，DO≤5 ppb。
2、設備材質
1）管路：全316L不銹鋼或UPVC。
2）水箱：316L氮封純水箱，防止CO?溶解。
二、配置與工藝流程
1、預處理系統
1）多介質過濾器：去除懸浮物、顆粒物（粒徑>5μm），采用石英砂與無煙煤分層填充，流量匹配1T/H。
2）活性炭過濾器：吸附有機物、余氯及異味，選用椰殼活性炭，需定期更換。
3）軟化系統：軟化水質，采用鈉型離子交換樹脂，防止RO膜結垢。
4）保安過濾器：5μm折疊濾芯，保護RO膜免受顆粒損傷。
2、反滲透系統
1）高壓泵：南方泵CDL8-10（功率3.7kW），壓力1.2-1.5MPa。
2）RO膜：陶氏DOW XLE-4040，脫鹽率≥99.5%。
3、深度脫鹽系統
1）EDI模塊：西門子IONPURE，電阻率≥15 MΩ·cm，采用核子級樹脂與離子交換膜，硼離子脫除率≥99.9%（出水≤0.005μg/L）。
2）拋光混床：核子級陰/陽離子樹脂，進一步去除微量離子，電阻率可提升至18.2 MΩ·cm。
4、終端后處理系統
1）TOC脫除器：185nm+254nm紫外線聯用，降解有機物（TOC<5 ppb）。
2）終端超濾：0.01μm孔徑膜包，攔截膠體與微粒（粒徑<50nm，數量<100個/L）。
3）脫氣膜：去除溶解氧（DO<5 ppb），避免氧化。南京反滲透純水設備 南京EDI超純水處理設備 南京工業(yè)純水設備 南京實驗室超純水設備 南京醫(yī)藥純化水設備 南京去離子水處理設備
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